Парфенова Е.С. Князева А.Г.
Исследование процесса взаимодействия диффузионной и механической волн на начальном этапе обработки поверхности металла пучком частиц в неизотермических условиях
Докладчик: Парфенова Е.С.
В настоящее время исследования процесса поверхностной обработки материалов потоками заряженных частиц ведутся достаточно активно. Благодаря этим методам возможно управление составом и структурой, а, следовательно, и поверхностными свойствами материалов. Несмотря на накопленные экспериментальные и теоретические данные, возможности метода ионной имплантации в полной мере не реализованы, что связано с недостаточным пониманием физических процессов, протекающих в твердом теле при облучении.
Процесс внедрения примеси в поверхность подложки сопровождается разными явлениями. Например, вследствие удара частиц о поверхность генерируются механические возмущения, возникают структурно-фазовые изменения, генерируются точечные дефекты и т.д. Все перечисленные явления оказывают влияние друг на друга, поэтому при моделировании процесса ионной имплантации необходимо учитывать это для получения качественных результатов.
В литературе встречаются исследования особенностей термоупругих волн, вызванных воздействием высокоэнергетических источников на поверхности материалов Но стоит отметить, что достаточно редко используются связанные математические модели, которые позволяют учесть взаимодействие разномасштабных процессов.
Цель настоящей работы – исследовать начальную стадию процесса ионной имплантации в поверхность подложки при учете взаимодействия мехнической и диффузионной волн.
К списку докладов